电子显微镜原理（扫描电子显微镜成像原理）

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解答：

1、扫描电子显微镜通过用聚焦电子束扫描样品表面来产生样品表面的图像。

2、与电子样品中的原子相互作用，产生包含样品形貌和成分信息的各种信号。电子束通常以光栅扫描模式进行扫描，并且电子束的位置与检测到的信号相结合以产生图像。

3、扫描电子显微镜可以达到优于1 nm的分辨率。样品可以在高真空、低真空、潮湿条件下(使用环境扫描电子显微镜)和大范围的低温或高温下观察。

4、最常见的扫描电镜模式是探测电子束激发原子发出的二次电子。可以检测到的二次电子的数量取决于样品的形貌和其他因素。

5、通过扫描样品并用特殊的检测器收集发射的二次电子，产生显示表面形貌的图像。它还可以产生样品表面的高分辨率图像，并且图像是三维的，从而识别样品的表面结构。

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